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        • 廣州藍月亮實業有限公司
        • 比亞迪股份有限公司
        • 合作企業太多,只列舉部分企業…

        傳感器的制作技術

            傳感器技術的發展依賴于傳感器制作技術的發展.隨著傳感器不斷向半導體化、集成化、小型化和智能化方向發展,傳感器制作技術主要是微系統技術(或稱為微機械加工技術)。微系統技術不但指組成微系統的部件是用微機械加工制成的,而且這些部件組合成系統也是采用微機械加工技術。它是集微機械、微電子、微光學和數據處理軟件等為一體的一門綜合技術。微系統技術包括組成板統的各個部件及子系統的加工工藝和將它們集成到一起形成完整系統的加工工藝
            1.部件及子系統主要涉及的技術
           1)半導體工藝:
           2)硅微機械加工技術
           3)集成光學技術:
           4)厚膜一薄膜技術
           5)毫微技術
           6)刻蝕技術:
           7) X射線深層光刻電鑄成型耳IGA)技術:
           8)激光加工技術
            2.系統的集成包括系統的底盤、組裝和連線、主要涉及的技術
           1)硅技術、厚膜薄膜技術、微機械加工技術和激光加工技術等
           2)鍵合主要有芯片黏接、共熔鍵合、焊接、玻璃封接、靜電封接等技術:
           3)接線主要有壓焊、倒裝式焊接、TAB〔帶自動焊接)等技術
            當傳感器用石英、陶瓷、高分子聚合物和金屬材料為基底時,還要用到超精密機械加工

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